ILA探头电容式位置传感器
“电缆是低噪音高弹性硅胶集成到ILA探针,并轴向退出探针”
ILA探针的示例应用
- 显微镜焦点
- 镜头对齐
- 部分分析
- 部分倾斜
- 半导体晶片厚度
- 压电级位移
- 振动测量
- 计算机磁盘用完和厚度
- 制动盘翘曲和厚度
- 金属板厚度
- 光伏晶片
规格
测量范围
0.025至2.54毫米
精确
0.05%FS
压力等级
标准200 psig
电缆长度
2.44米至15.2米