ILR探测电容式位置传感器
电缆是低噪声高度柔性硅胶，对ILR探针积分，径向排出探头
ILR探针的示例应用
- 显微镜聚焦
- 镜头对齐
- 部分貌相
- 部分倾斜
- 半导体晶片厚度
- 压电舞台位移
- 振动测量
- 计算机磁盘耗尽和厚度
- 制动转子翘曲和厚度
- 金属板厚度
- 光伏晶片
caractériques.
测量范围
0.025到5.08毫米
精度
0.05% FS
压力等级
标准200 psig
电缆长度
2.44米至15.2米
