ILA探针电容式位置传感器
“该电缆是低噪音、高柔性的硅酮，集成到ILA探头，并轴向退出探头”
ILA探针的示例应用
- 显微镜焦点
- 镜头对齐
- 部分貌相
- 部分倾斜
- 半导体晶片厚度
- 压电舞台位移
- 振动测量
- 计算机磁盘耗尽和厚度
- 制动转子翘曲和厚度
- 金属板厚度
- 光伏晶片
caractériques.
测量范围
0.025至2.54毫米
准确性
0.05％FS.
压力等级
标准200 psig.
电缆长度
2.44米至15.2米
