ILR探头电容式位置传感器
该电缆是低噪声高柔性硅胶集成到ILR探针,并径向退出探针
ILR探针的应用示例
- 显微镜聚焦
- 镜头对齐
- 部分分析
- 部分倾斜
- 半导体晶片厚度
- 压电阶段位移
- 振动测量
- 计算机磁盘耗尽和厚度
- 制动转子翘曲和厚度
- 金属板厚度
- 光伏晶片
规范
测量范围
0.025至5.08毫米
精度
0.05% FS
压力等级
标准200 psig
电缆长度
2.44米至15.2米