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SMT-9700涡流传感器

用于分析和OEM应用的灵活,高分辨率位置/位移系统

关于SMT-9700涡流传感器

Kaman的SMT-9700系统采用经过验证的电感(涡流)技术,提供几乎任何导电目标的极高分辨率的非接触式位置/位移反馈。它非常适用于需要对控制的高次校集位置反馈的应用,并且已被证明是在光刻设备中的光学设备,原子力显微镜中的XYZ阶段定位,以及轴承比赛精密研磨的主轴位置。

关键特点SMT-9700

  • 1,2和3通道配置
  • 纳米到亚纳米分辨率
  • 简单,经济高效的性能定制
  • ce和rohs兼容
  • 小包装尺寸
  • 13个标准传感器选项

应用smt - 9700

  • 原子力显微镜中的XYZ阶段位置反馈
  • 半导体光刻设备中的ZAXI反馈
  • ZAXIS反馈在精密研磨的轴承比赛中
  • 光学定位
  • 雕刻头位置反馈

规格

测量范围
0.5 - 15毫米
线性
风俗
解析度
风俗
电子温度
工作范围
0°至+ 70°C(+ 32°至+ 158°F)
补偿范围
+ 15°至+ 55°C(+ 59°至+ 131°F)
存储范围
-40°至+ 85°C(-40°至+ 185°F)
模拟输出
连续负载电流
< 20马
短路和过载保护
是的
输入
所需的供电电压
15至30 VDC
电流限制(无负载电流输入)
<50 ma.
反极性保护
是的
短路保护
是的
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