SMT-9700涡流传感器
用于分析和OEM应用的灵活,高分辨率位置/位移系统
关于SMT-9700涡流传感器
Kaman的SMT-9700系统采用经过验证的电感(涡流)技术,提供几乎任何导电目标的极高分辨率的非接触式位置/位移反馈。它非常适用于需要对控制的高次校集位置反馈的应用,并且已被证明是在光刻设备中的光学设备,原子力显微镜中的XYZ阶段定位,以及轴承比赛精密研磨的主轴位置。
关键特点SMT-9700
- 1,2和3通道配置
- 纳米到亚纳米分辨率
- 简单,经济高效的性能定制
- ce和rohs兼容
- 小包装尺寸
- 13个标准传感器选项
应用smt - 9700
- 原子力显微镜中的XYZ阶段位置反馈
- 半导体光刻设备中的ZAXI反馈
- ZAXIS反馈在精密研磨的轴承比赛中
- 光学定位
- 雕刻头位置反馈
规格
测量范围
0.5 - 15毫米
线性
风俗
解析度
风俗
电子温度
工作范围
0°至+ 70°C(+ 32°至+ 158°F)
补偿范围
+ 15°至+ 55°C(+ 59°至+ 131°F)
存储范围
-40°至+ 85°C(-40°至+ 185°F)
模拟输出
连续负载电流
< 20马
短路和过载保护
是的
输入
所需的供电电压
15至30 VDC
电流限制(无负载电流输入)
<50 ma.
反极性保护
是的
短路保护
是的